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工作原理:
该清洁机在使用时通入工作气体,并在高压电场的作用下激发产生等离子体,等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,与固体样品表面产生物理反应和化学反应,通过活性粒子轰击待清洗表面,使污染物脱离电子线路板表面最终被真空泵吸走,同时,各种活性的粒子和线路板表面的污染物反应生成易挥发性的物质,再由真空泵吸走挥发性的物质,从而达到清洗目的。另外,还会对材料表面产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细纳米孔,增大了样品的比表面,进一步提高固体表面的粘附性、相容性、润湿性、扩散性等。
技术特点:
SPA-2000等离子体清洗机系统的应用包括:
特点一:清洗力强,可对材料表面的灰尘、纤维、金属和非金属和其氧化物碎屑、汗迹、指纹、油污等污垢,清洗后不留残迹;
特点二:清洗过程使用环境友好且具有成本效益的反应气体,例如氩(Ar)和氧(O2)等,无需危害性大和昂贵的氟气;
特点三:不需要使用温度控制,清洗过程采用干法工艺,不仅不需要湿法洗涤过程使用大量的有害有机溶剂,也不需要再经干燥处理即可送往下一道工序,绿色环保,处理效率高;
特点四:该清洗机不仅具有清洗去污的作用,还可以改善材料本身的表面性能,提高表面的润湿性能、黏着力等。
应用领域
可广泛用于半导体和微电子领域。