工作原理：

该清洁机在使用时通入工作气体，并在高压电场的作用下激发产生等离子体，等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，与固体样品表面产生物理反应和化学反应，通过活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离电子线路板表面最终被真空泵吸走，同时，各种活性的粒子和线路板表面的污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质，从而达到清洗目的。另外，还会对材料表面产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细纳米孔，增大了样品的比表面，进一步提高固体表面的粘附性、相容性、润湿性、扩散性等。

技术特点：

SPA-2000等离子体清洗机系统的应用包括：

特点一：清洗力强，可对材料表面的灰尘、纤维、金属和非金属和其氧化物碎屑、汗迹、指纹、油污等污垢，清洗后不留残迹；

特点二：清洗过程使用环境友好且具有成本效益的反应气体，例如氩（Ar）和氧（O2）等，无需危害性大和昂贵的氟气；

特点三：不需要使用温度控制，清洗过程采用干法工艺，不仅不需要湿法洗涤过程使用大量的有害有机溶剂，也不需要再经干燥处理即可送往下一道工序，绿色环保，处理效率高；

特点四：该清洗机不仅具有清洗去污的作用，还可以改善材料本身的表面性能，提高表面的润湿性能、黏着力等。

应用领域

可广泛用于半导体和微电子领域。